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産業装置事業

【ナノインプリント装置】
UV式/熱硬化式

300mmウエハー対応の装置です。
金型の平行出し、加圧、UV照射、離型し、高精度繰り返し位置決め精度にて
ステップ&リピートし、リソグラフィーの代替パターニングとして
(テラバイト光ディスク、LED、マイクロレンズ、拡散フィルム、高密度パッケージ等)に最適です。
研究開発用、量産に対応いたします。

超高精度  繰り返し精度=20nm


<構成>
1.XY軸エアースライド
2.リニアモータ
3.リニアゲージ
4.Z軸エアースライダ
5.平行出し機構
6.マイクロディスペンサ
7.オートフォーカスポート
8.基板ホルダ
9.金型ホルダ
10.UV照射ユニット
11.空調システム


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