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清和光学は、顕微鏡をはじめとして、画像光学、半導体/液晶、製造装置等に至るまで価値ある新製品を、各産業界の市場に生み出し供給してまいりました。40余年にもおよぶ中で、最も得意とする光学系をベースにしたフレッシュな提案と創意工夫を忘れなかった日々が、今日の実績と自信に結びついたことと言えるでしょう。これから先も、日夜、惜しまぬ努力を続けてまいります。

ナノインプリント装置　　　UV式タイプ　(熱式タイプ)
	φ２００ｍｍウェハー対応の装置です。 金型の平行出し、加圧、ＵＶ照射、離型、 高精度繰り返し位置決め精度にてステップ＆リピート、 リソグラフィーの代替パターニング。 テラバイト光ディスク、ＬＥＤ、マイクロンズ、拡散フィルム、 高密度パッケージ、BSI、C-MOSアレイ等に最適です。 研究開発用、量産に対応いたします。

構成 1 Ｘ，Ｙ軸エアースライド 7 オートフォーカスポート 2 リニアモーター 8 基板ホルダ 3 リニアゲージ 9 金型ホルダー 4 Ｚ軸エアースライダー 10 ＵＶ照射ユニット 5 平行出し機構 11 空調システム 6 マイクロディスペンサー

お問い合わせお申し込みは・・・sales@seiwaopt.co.jp

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