新製品
M.PlanAPO※※xHRシリーズ

高画素化が進むカメラに対応した
超広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズです

結像鏡筒MS-200-TCD33と合わせてご使用ください

※生産終了→M.PlanAPO20XSB（2021年3月）
　後継機種はM.PlanAPO20XSとなります。N.Aが0.35→0.42になりました。

※生産終了→M.PlanAPO5XSBS（2022年）
　後継機種はM.PlanAPO5XSとなりました。

※生産終了→M.PlanAPO10XSBS（2022年）
　後継機種はM.PlanAPO10XSとなりました。

※生産終了→M.PlanAPO5XS(2024年2月)
　後継機種はM.PlanAPO5XSⅡとなりました。

PE IR Plan対物シリーズ
フォトエミッション用近赤外対物レンズ

近赤外域の分光透過率を高く設計した長作動距離、高解像対物レンズです。
シリコンを透過してウェハーの裏面観察をしたりフォトエミッション故障解析用レンズとして使用できます。
20X、50Xは弊社の顕微鏡PS-888Lに取付けてYAGレーザ（波長1064nm）と併用することで、
レーザーリペアなどにもご使用いただけます。
※LCDガラス補正・シリコン補正に対応いたします。ご相談ください。

PEIR2000HR 10X・20X・50X
近赤外2000nm対応対物レンズ

PEIR10X-2000HR 2023年10月 新発売

2000nmで75％以上の透過率を維持した対物レンズです。
半導体デバイスの故障解析で電流リークによる極微弱な発光の検出に威力を発揮いたします。
高集積、多層配線化された半導体デバイスを、チップの裏面からシリコンを透過してくる赤外光で観察が可能です。
※シリコン補正対応いたします。ご相談ください。

※生産終了→PEIR20X-2000HR（2022年3月）
　後継機種はPEIR20X-2000HRSとなります

※生産終了→PEIR50X-2000HR（2023年2月）
　後継機種はPEIR50X-2000HRSとなります

NUV Plan APO20X・50X
近紫外対物レンズ

明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外355nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ355nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。

DUV Plan 20X・50X
近紫外対物レンズ

明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外266nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ266nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。

MIFシリーズ
マイケルソン式白色干渉対物レンズ

白色干渉計での使用を目的とした対物レンズです。
合焦位置でのサンプル像とともに内蔵するビームスプリッタと参照ミラーにより
サンプルの高低差に対応した干渉縞が得られます。