FPD検査装置 Flat Panel Display Inspection System

シール剤断線検査装置

Inspection for Sealant and Frit Disconnection
概要
基板全面Scanによりシール断線などを検査。
高精度、高安定性の検査が可能になりました。
ディスペンス装置へのフィードバックによりシール塗布精度向上をサポートします。
用途
LCD シール検査、OLED フリット・DAM検査
仕様
検査対象部位:直線部、コーナー部
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検査項目:断線、幅、位置
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対応基板サイズ:最大 G10.5
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オプション:打点サイズ・位置 検査
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シール剤断線検査装置
シール剤断線検査装置
シール剤断線検査装置

パネル貼り合せズレ検査装置

Panel Alignment Accuracy Inspection
概要
TFT基板/CF基板 貼り合せ後の貼り合せ精度を検査。
高精度、高安定性の検査を実現 → 繰返し精度 3σ 0.3um以下
基板貼り合せ装置へのフィードバックにより貼り合せ精度向上をサポートします。
用途
LCD TFT基板/CF基板
貼り合せ後のパネル貼り合せ精度検査
仕様
検査対象部位:Sheet Mark、Panel Mark
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検査項目:TFT基板/CF基板 貼り合せ精度
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対応基板サイズ:最大 G10.5
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オプション:シール幅検査、打点有無検査
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パネル貼り合せズレ検査装置
パネル貼り合せズレ検査装置

パーテイクル検査装置

概要
TFT基板/CF基板 貼り合せ前の工程における Particle状態を検査。
用途
FPD基板表面の Particle を検出 ~ 前工程への Feedback や Repair に反映
仕様
最小検出Size: Φ1um ~(Φ5um、Φ10um、Φ30um)
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対応基板Size: 最大 G10.5
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パーテイクル検査装置

スペーサー検査装置

概要
スペーサー散布後のスペーサー散布状態を検査。
基板全領域の ”塊”測定(Macro検査)と一定箇所の”分布”測定(Micro検査)に対応。
用途
FPD基板 貼り合せ前 の Spacer分布 を測定 ~ 前工程への Feedback や Repair に反映
仕様
対応 Spacer Size: Φ3um ~
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対応基板Size: 最大 G6
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スペーサー検査装置
スペーサー検査装置

Wave Line 検査装置

Wave Line Inspection Equipment
概要
一般顕微鏡では観察できない、ディスプレー内のうねり検出。
特殊可視技術を搭載した検査装置。
用途
フレキシブルディスプレー、OLEDの各工程毎に使用

検査項目:うねり・気泡・傷・異物
Inspection Item : Wave Line / Bubble / Scrunch / Particle
仕様
視野サイズ:160×160mm
参考タクト:8sec

オプション項目:OCA Bright line・OCA Bonding Pad
Option Inspection Item : OCA Bright line・OCA Bonding Pad
 
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