プローバー顕微鏡

スーパースコープ

スーパースコープ

顕微鏡
スーパースコープ

半導体のプローブステーションやLCDのアッセンブリ工程に最適な高解像、高倍率顕微鏡です。
PS-888Lタイプは1064nm、532nm、355nmの波長それぞれを透過する3つの結像レンズを備えており、
YAGレーザ照射装置に搭載することにより、半導体の回路やLCD層などを加工できます。

サイドカメラポート仕様
PS-888-TRIタイプは顕微鏡側面にカメラポートを取り付けました。
照明も側面からの押し込み式で、照明ムラが少なくコントラストの良い像が得られるケーラー照明を採用しました。
結像レンズは切替式になっていません。
型式PS-888PS-888LPS-888-TRI
モデル名プローバー装置用顕微鏡レーザーカッター用顕微鏡サイドポート3波長結像
鏡筒タイプ可視光近赤外~近紫外対応近赤外~近紫外対応
正立3眼ヘッド部:目幅調整
正立3眼ヘッド部:視野
正立3眼ヘッド部:光軸
ジーデントップタイプ 50-75mm調節可
23mm
T:R70:30同時観察
ジーデントップタイプ 50-75mm調節可
23mm
0:100/100:0 光路切替式
ジーデントップタイプ 50-75mm調節可
23mm
0:100/100:0 光路切替式
本体:結像レンズ1×(486-656)nm
2×(486-656)nm
ターレット切替式
1×(355-532)nm 1×(532-1064)nm
2×(486-656)nm…レーザー加工不可
ターレット切替式
1×(355-532)nm 1×(532-1064)nm
2×(486-656)nm…レーザー加工不可
ターレット切替式
本体:レーザー-YAGレーザー(第1、第2、第3高調波)YAGレーザー(第1、第2、第3高調波)
マウントC-マウントレーザーマウント(N/W)C-マウント/レーザーマウント(N/W)
同軸落射照明明視野ケーラー照明 開口絞り付き明視野ケーラー照明 開口絞り付き明視野ケーラー照明 開口絞り付き
レボルバー内向き回転型明視野用
レボルバー(4穴)各穴調芯・同焦補正機能付
内向き回転型明視野用
レボルバー(4穴)各穴調芯・同焦補正機能付
内向き回転型明視野用
レボルバー(4穴)各穴調芯・同焦補正機能付
対物レンズ無限遠補正対物レンズ(M.PlanAPOレンズ)無限遠補正対物レンズ(M.PlanAPOレンズ)無限遠補正対物レンズ(M.PlanAPOレンズ)
重量 7kg以下7.5kg以下-
フォーカスユニット:耐加重45kg45kg45kg
フォーカスユニット:操作粗動:1回転/4mm、微動:1回転/0.1mm
手動1軸粗微動
粗動:1回転/4mm、微動:1回転/0.1mm
手動1軸粗微動
粗動 4mm/rev
微動 0.1mm/rev
フォーカスユニット:ストローク±25mm±25mm50mm
外形寸法192(W)×352(D)×365(H)mm192(W)×352(D)×365(H)mm-
オプション型式
カメラアダプターLCA-1
ハロゲン光源
LED光源
ライトガイド
FA-100C/FA-150EN
SLBX-15AS
SL-B5シリーズ
電動レボルバー45°/水平式
偏光フィルタPL-2
カラーフィルタFC-R
FC-G
FC-B
FC-Y
接眼レンズ②-888 FWF10XDA
③-888 WF15X
④-888 WF20X
対物レンズM.PlanAPO2.5X
M.PlanAPO5XSB
M.PlanAPO10XSB
M.PlanAPO20XSB
M.PlanAPO50XSBS
M.PlanAPO100XSBS
スタンドSTD-67
  
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