顕微鏡
スーパースコープ

半導体のプローブステーションやLCDのアッセンブリ工程に最適な高解像、高倍率顕微鏡です。
PS-888Lタイプは1064nm、532nm、355nmの波長それぞれを透過する3つの結像レンズを備えており、
YAGレーザ照射装置に搭載することにより、半導体の回路やLCD層などを加工できます。

サイドカメラポート仕様
PS-888-TRIタイプは顕微鏡側面にカメラポートを取り付けました。
照明も側面からの押し込み式で、照明ムラが少なくコントラストの良い像が得られるケーラー照明を採用しました。
結像レンズは切替式になっていません。