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対物レンズ Objective Lens

対物レンズ Objective Lens

広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズ

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高画素化が進むカメラに対応した
超広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズです

結像鏡筒MS-200-TCD33と合わせてご使用ください

対物型式	M.Plan APO1.5XHR	M.Plan APO2.5XHR	M.Plan APO5XHR	M.Plan APO10XHR
倍率	1.5×	2.5×	5×	10×
作動距離	25mm	33mm	34mm	18mm
焦点距離	133.38mm	80mm	40mm	20mm
N.A.	0.048	0.08	0.16	0.3
分解能	7.4μm	4.2μm	2.1μm	1.2μm
焦点深度(±D.F)	119.3μm	42.9μm	10.7μm	3.0μm
重量	390g	180g	385g	545g

外観図PDF	M.PlanAPO1.5XHR M.PlanAPO2.5XHR M.PlanAPO5XHR M.PlanAPO10XHR
外観図DXF	M.PlanAPO1.5XHR M.PlanAPO2.5XHR M.PlanAPO5XHR M.PlanAPO10XHR
外観図3D	M.PlanAPO1.5XHR M.PlanAPO2.5XHR M.PlanAPO5XHR M.PlanAPO10XHR

M.PlanAPO対物レンズシリーズ

※型式が新しくなりました。レンズスペックに変更はありません。
　M.PlanAPO5XSB　 →　M.PlanAPO5XSBS
　M.PlanAPO10XSB　→　M.PlanAPO10XSBS

※生産終了→M.PlanAPO2.5X（2018年）
　後継機種はM.PlanAPO2.5XHRとなります。

型式	M.Plan APO2.5XHR	M.Plan APO5XSBS	M.Plan APO10XSBS	M.Plan APO20XSB	M.Plan APO50XSBS	M.Plan APO100XSBS
倍率	2.5X	5X	10X	20X	50X	100X
作動距離	33mm	36.1mm	38.9mm	22.2mm	18.3mm	14.1mm
焦点距離(f)	80.0mm	40.0mm	20.0mm	10.0mm	4.0mm	2.0mm
N.A.	0.08	0.16	0.23	0.35	0.40	0.52
分解能	4.2μm	2.1μm	1.5μm	1.0μm	0.8μm	0.6μm
焦点深度(±D.F)	42.9μm	10.7μm	5.2μm	2.2μm	1.7μm	1.0μm
重量	180g	238g	215g	289g	321g	340g

※分解能及び対物レンズ単体での焦点深度は、
基本波長（λ=0.55μｍ)をもとに算出した値になります。
分解能＝0.61×0.55/N.A
焦点深度±D(μm)＝λ/[2(N.A)2乗]

カタログ	2018Catalog_P32.pdf
外観図3D	M.PlanAPO2.5XHR M.PlanAPO20XSBS M.PlanAPO50XSBS M.PlanAPO100XSBS

紫外対物 266nm

DUV Plan 20X・50X
近紫外対物レンズ

明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外266nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ266nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。

型式	DUV Plan 20X	DUV Plan 50X
倍率	20X	50X
作動距離	15mm	12mm
焦点距離(f)	10mm	4mm
N.A.	0.36	0.4
分解能	0.93μm	0.84μm
焦点深度(±D.F)	2.1μm	1.7μm
波長	266nm-532nm	266nm-532nm
最大入射パワー	-	-
最大入射パワー	-	-
ガラス補正	-	-
重量	360g	320g

カタログ	2018Catalog_P34.pdf

近紫外対物 355nm

NUV Plan APO20X・50X
近紫外対物レンズ

明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外355nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ355nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。

型式	NUV Plan APO 20X	NUV Plan APO 50X
倍率	20X	50X
作動距離	12mm	10mm
焦点距離(f)	10mm	4mm
N.A.	0.5	0.5
分解能	0.6μm	0.6μm
焦点深度(±D.F)	1.1μm	1.1μm
波長	345nm-1064nm	345nm-1064nm
最大入射パワー	0.1J/cm2@532nm パルス幅10nsec 0.047J/cm2@355nm パルス幅10nsec	0.1J/cm2@532nm パルス幅10nsec 0.028J/cm2@355nm パルス幅10nsec
ガラス補正	-/1.0mm(LCD)	-/1.0mm(LCD)
重量	435g	510g

カタログ	2018Catalog_P34.pdf
外観図3D	NUV Plan APO 20X

近赤外対物 1100nm

PE IR Plan対物シリーズ
フォトエミッション用近赤外対物レンズ

近赤外域の分光透過率を高く設計した長作動距離、高解像対物レンズです。
シリコンを透過してウェハーの裏面観察をしたりフォトエミッション故障解析用レンズとして使用できます。
20X、50Xは弊社の顕微鏡PS-888Lに取付けてYAGレーザ（波長1064nm）と併用することで、
レーザーリペアなどにもご使用いただけます。
※LCDガラス補正・シリコン補正に対応いたします。ご相談ください。

型式	PE IR Plan 1X	PE IR Plan 2.5X	PE IR Plan 10X	PE IR Plan 20X	PE IR Plan 50X	PE IR Plan 100X
倍率	1X	2.5X	10X	20X	50X	100X
作動距離	12mm	28mm	30.4mm	12mm	10mm	9.5mm
焦点距離(f)	200mm	80mm	20mm	10mm	4mm	2mm
N.A.	0.03	0.1	0.27	0.5	0.6	0.71
分解能	22.4μm	6.7μm	2.5μm	1.3μm	1.1μm	0.9μm
焦点深度(±D.F)	611μm	55μm	7.5μm	2.2μm	1.5μm	0.9μm
透過率70%以上	800-1600nm	450-1600nm	550-1600nm	800-1600nm	900-1600nm	900-1400nm
ガラス補正	-	-	-	-/1.0mm(LCD)	-/1.0mm(LCD)	-
重量	420g	300g	335g	430g	500g	560g

カタログ	2018Catalog_P34.pdf
外観図3D	PE IR Plan 50X

近赤外対物 2000nm

PEIR2000HR 20X・50X
近赤外2000nm対応対物レンズ

2000nmで80％以上の透過率を維持した対物レンズです。
半導体デバイスの故障解析で電流リークによる極微弱な発光の検出に威力を発揮いたします。
高集積、多層配線化された半導体デバイスを、チップの裏面からシリコンを透過してくる赤外光で観察が可能です。
※シリコン補正対応いたします。ご相談ください。

型式	PE IR 20X 2000 HR	PE IR 50X 2000 HR
倍率	20X	50X
作動距離	10mm	10mm
焦点距離(f)	10mm	4mm
N.A.	0.6	0.7
分解能	1.6μm	1.4μm
焦点深度(±D.F)	2.1μm	1.5μm
透過率:1300nm	80%以上	80%以上
透過率:2000nm	80%以上	80%以上
重量	610g	560g

カタログ	2018Catalog_P35.pdf
外観図3D	PE IR 20X 2000 HR PE IR 50X 2000 HR

マイケルソン干渉対物レンズ

MIFシリーズ
マイケルソン式白色干渉対物レンズ

白色干渉計での使用を目的とした対物レンズです。
合焦位置でのサンプル像とともに内蔵するビームスプリッタと参照ミラーにより
サンプルの高低差に対応した干渉縞が得られます。

型式	MIF-2.5X-FD10.2	MIF-5X-WD26	MIF-5X-ULWD
倍率	2.5X	5X	5X
作動距離	31mm	26mm	40mm
焦点距離(f)	80mm	40mm	40mm
N.A.	0.1	0.13	0.08
分解能	3.4μm	2.6μm	4.2μm
焦点深度(±D.F)	27.5μm	16.3μm	42.9μm
波長	468-656nm	468-656nm	468-656nm
参照ミラー面積度	λ/20	λ/20	λ/20
同焦点距離	95mm	95mm	114mm
参照ミラーの最大視野	φ10.2mm	φ4.27mm	φ4.27mm

カタログ	2018Catalog_P35.pdf
外観図3D	PE IR 20X 2000HR

無限遠M.Plan f=180

同軸鏡筒無限遠 f＝180mm
長作動対物レンズM.Planシリーズ
無限遠M.Planシリーズ

無限遠f=180mm結像レンズ入りコンパク卜鏡筒です。
明視野用M.Plan対物レンズを取り付けてご使用いただけます。

型式	M.Plan10XLWD11	M.Plan20XLWD11	M.Plan40XLWD11	M.Plan10XLCD11	M.Plan20XLCD11	M.Plan40XLCD11
倍率	10X	20X	40X	10X	20X	40X
作動距離	10mm	10mm	10mm	10.8mm	10.5mm	10.3mm
焦点距離(f)	18.0mm	8.99mm	4.49mm	18.0mm	8.99mm	4.49mm
N.A.	0.25	0.42	0.52	0.25	0.42	0.52
分解能	1.3μm	0.8μm	0.6μm	1.3μm	0.8μm	0.6μm
焦点深度(±D.F)	4.4μm	1.6μm	1.0μm	4.4μm	1.6μm	1.0μm
重量	116g	113g	123g	116g	113g	123g
付属品	MS-180:F20-Wフロストフィルター	MS-180:F20-Wフロストフィルター	MS-180:F20-Wフロストフィルター	MS-180:F20-Wフロストフィルター	MS-180:F20-Wフロストフィルター	MS-180:F20-Wフロストフィルター

カタログ	2018Catalog_P38.pdf
外観図3D	M.Plan10XLWD11 M.Plan20×LCD11

有限遠 f=210

同軸鏡筒機械筒長式有限210mm／対物レンズ DM.シリーズ
有限遠DMシリーズ

機械筒長 210mmの有限遠対物レンズと鏡筒のシリーズです。
光学倍率、5倍・10倍・20倍・35倍・40倍・50倍・100倍と豊富なラインナップです。

型式	DM.5X	DM.10X	DM.20X	DM.35X	DM.40X	DM.50X	DM.Plan100XDRY
倍率	5X	10X	20X	35X	40X	50X	100X
作動距離	18mm	7.5mm	2.2mm	6.9mm	0.6mm	0.45mm	0.44mm
焦点距離(f)	37.9mm	22.17mm	11.72mm	6.06mm	5.78mm	4.66mm	2.17mm
N.A.	0.10	0.25	0.4	0.45	0.65	0.68	0.9
分解能	3.4μm	1.3μm	0.8μm	0.7μm	0.5μm	0.5μm	0.4μm
焦点深度(±D.F)	27.5μm	4.4μm	1.7μm	1.35μm	0.7μm	0.6μm	0.3μm
重量	52g	85g	88g	85g	95g	96g	99g
付属品	MS-210:F20-Wフロストフィルター	MS-210:F20-Wフロストフィルター	MS-210:F20-Wフロストフィルター	MS-210:F20-Wフロストフィルター	MS-210:F20-Wフロストフィルター	MS-210:F20-Wフロストフィルター	MS-210:F20-Wフロストフィルター

カタログ	2018Catalog_P37.pdf
外観図3D	DM.5X DM.10X DM.20X DM.40X DM.100XDRY

有限遠 f=240

同軸鏡筒機械筒長式有限240mm／長作動対物レンズ
有限遠LMシリーズ

機械筒長240mmの有限対物レンズと鏡筒のシリーズです。
DMシリーズに比べWDが長いのが特長です。

型式	PLM-3	LM-5	LM-10	LM-20	LM-40	LM-Plan100XDRY
倍率	3X	5X	10X	20X	40X	100X
作動距離	12.5mm	21mm	12.3mm	12.2mm	6.8mm	3.4mm
焦点距離(f)	78.07mm	53.88mm	22.5mm	11.45mm	6.06mm	2.33mm
N.A.	0.07	0.10	0.22	0.30	0.45	0.80
分解能	4.8μm	3.4μm	1.5μm	1.1μm	0.7μm	0.4μm
焦点深度(±D.F)	56.2μm	27.5μm	5.6μm	3.0μm	1.4μm	0.4μm
重量	88g	43g	73g	76g	82g	95g
付属品	MS-240:F20-Wフロストフィルター	MS-240:F20-Wフロストフィルター	MS-240:F20-Wフロストフィルター	MS-240:F20-Wフロストフィルター	MS-240:F20-Wフロストフィルター	MS-240:F20-Wフロストフィルター

カタログ	2018Catalog_P37.pdf
外観図3D	LM-5 LM-10 LM-20 LM-40 LM-Plan100×DRY