対物レンズ Objective Lens
広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズ
新製品
M.PlanAPO※※xHRシリーズ
高画素化が進むカメラに対応した
超広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズです
結像鏡筒MS-200-TCD33と合わせてご使用ください
M.PlanAPO※※xHRシリーズ
高画素化が進むカメラに対応した
超広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズです
結像鏡筒MS-200-TCD33と合わせてご使用ください
| 対物型式 | M.Plan APO1.5XHR | M.Plan APO2.5XHR | M.Plan APO5XHR | M.Plan APO10XHR |
|---|---|---|---|---|
| 倍率 | 1.5× | 2.5× | 5× | 10× |
| 作動距離 | 25mm | 33mm | 34mm | 18mm |
| 焦点距離 | 133.38mm | 80mm | 40mm | 20mm |
| N.A. | 0.048 | 0.08 | 0.16 | 0.3 |
| 分解能 | 7.4μm | 4.2μm | 2.1μm | 1.2μm |
| 焦点深度(±D.F) | 119.3μm | 42.9μm | 10.7μm | 3.0μm |
| 重量 | 390g | 284g | 385g | 545g |
M.PlanAPO対物レンズシリーズ
※生産終了→M.PlanAPO20XSB（2021年3月）
後継機種はM.PlanAPO20XSとなります。N.Aが0.35→0.42になりました。
※生産終了→M.PlanAPO5XSBS（2022年）
後継機種はM.PlanAPO5XSとなりました。
※生産終了→M.PlanAPO10XSBS（2022年）
後継機種はM.PlanAPO10XSとなりました。
※生産終了→M.PlanAPO5XS(2024年2月)
後継機種はM.PlanAPO5XSⅡとなりました。
後継機種はM.PlanAPO20XSとなります。N.Aが0.35→0.42になりました。
※生産終了→M.PlanAPO5XSBS（2022年）
後継機種はM.PlanAPO5XSとなりました。
※生産終了→M.PlanAPO10XSBS（2022年）
後継機種はM.PlanAPO10XSとなりました。
※生産終了→M.PlanAPO5XS(2024年2月)
後継機種はM.PlanAPO5XSⅡとなりました。
| 型式 | M.Plan APO1.5XHR | M.Plan APO2.5XHR | M.Plan APO5XSⅡ | M.Plan APO10XS | M.Plan APO20XS | M.Plan APO50XSBS | M.Plan APO100XSBS | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 倍率 | 1.5X | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | |
| 作動距離 | 25mm | 33mm | 36mm | 38.9mm | 20mm | 18.3mm | 14.1mm | |
| 焦点距離(f) | 133.38mm | 80.0mm | 40.0mm | 20.0mm | 10.0mm | 4.0mm | 2.0mm | |
| N.A. | 0.048 | 0.08 | 0.16 | 0.23 | 0.42 | 0.40 | 0.52 | |
| 分解能 | 7.4μm | 4.2μm | 2.1μm | 1.5μm | 0.8μm | 0.8μm | 0.6μm | |
| 焦点深度(±D.F) | 119.3μm | 42.9μm | 10.7μm | 5.2μm | 1.5μm | 1.7μm | 1.0μm | |
| 重量 | 390g | 284g | 240g | 220g | 290g | 321g | 340g |
| ※分解能及び対物レンズ単体での焦点深度は、 基本波長（λ=0.55μｍ)をもとに算出した値になります。 分解能＝0.61×0.55/N.A 焦点深度±D(μm)＝λ/[2(N.A)2乗] |
近赤外対物 1100nm-1600nm
PE IR Plan対物シリーズ
フォトエミッション用近赤外対物レンズ
近赤外域の分光透過率を高く設計した長作動距離、高解像対物レンズです。
シリコンを透過してウェハーの裏面観察をしたりフォトエミッション故障解析用レンズとして使用できます。
20X、50Xは弊社の顕微鏡PS-888Lに取付けてYAGレーザ（波長1064nm）と併用することで、
レーザーリペアなどにもご使用いただけます。
※LCDガラス補正・シリコン補正に対応いたします。ご相談ください。
フォトエミッション用近赤外対物レンズ
近赤外域の分光透過率を高く設計した長作動距離、高解像対物レンズです。
シリコンを透過してウェハーの裏面観察をしたりフォトエミッション故障解析用レンズとして使用できます。
20X、50Xは弊社の顕微鏡PS-888Lに取付けてYAGレーザ（波長1064nm）と併用することで、
レーザーリペアなどにもご使用いただけます。
※LCDガラス補正・シリコン補正に対応いたします。ご相談ください。
| 型式 | PE IR Plan 1X | PE IR Plan 2.5X | PE IR Plan 10X | PE IR Plan 20X | PE IR Plan 50X | PE IR Plan 100X |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 倍率 | 1X | 2.5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| 作動距離 | 12mm | 28mm | 30.4mm | 12mm | 10mm | 9.5mm |
| 焦点距離(f) | 200mm | 80mm | 20mm | 10mm | 4mm | 2mm |
| N.A. | 0.03 | 0.1 | 0.27 | 0.5 | 0.6 | 0.71 |
| 分解能 | 22.4μm | 6.7μm | 2.5μm | 1.3μm | 1.1μm | 0.9μm |
| 焦点深度(±D.F) | 611μm | 55μm | 7.5μm | 2.2μm | 1.5μm | 0.9μm |
| 透過率70%以上 | 800-1600nm | 450-1600nm | 550-1600nm | 800-1600nm | 900-1600nm | 900-1400nm |
| ガラス補正 | - | - | - | -/1.0mm(LCD) | -/1.0mm(LCD) | - |
| 重量 | 420g | 300g | 335g | 430g | 500g | 560g |
近赤外対物 2000nm
PEIR2000HR 10X・20X・50X
近赤外2000nm対応対物レンズ
PEIR10X-2000HR 2023年10月 新発売
2000nmで75％以上の透過率を維持した対物レンズです。
半導体デバイスの故障解析で電流リークによる極微弱な発光の検出に威力を発揮いたします。
高集積、多層配線化された半導体デバイスを、チップの裏面からシリコンを透過してくる赤外光で観察が可能です。
※シリコン補正対応いたします。ご相談ください。
※生産終了→PEIR20X-2000HR（2022年3月）
後継機種はPEIR20X-2000HRSとなります
※生産終了→PEIR50X-2000HR（2023年2月）
後継機種はPEIR50X-2000HRSとなります
近赤外2000nm対応対物レンズ
PEIR10X-2000HR 2023年10月 新発売
2000nmで75％以上の透過率を維持した対物レンズです。
半導体デバイスの故障解析で電流リークによる極微弱な発光の検出に威力を発揮いたします。
高集積、多層配線化された半導体デバイスを、チップの裏面からシリコンを透過してくる赤外光で観察が可能です。
※シリコン補正対応いたします。ご相談ください。
※生産終了→PEIR20X-2000HR（2022年3月）
後継機種はPEIR20X-2000HRSとなります
※生産終了→PEIR50X-2000HR（2023年2月）
後継機種はPEIR50X-2000HRSとなります
| 型式 | PE IR 10X 2000 HRS | PE IR 20X 2000 HRS | PE IR 50X 2000 HRS |
|---|---|---|---|
| 倍率 | 10X | 20X | 50X |
| 作動距離 | 20mm | 10mm | 10mm |
| 焦点距離(f) | 20mm | 10mm | 4mm |
| N.A. | 0.33 | 0.6 | 0.7 |
| 分解能 | 2.9μm | 1.6μm | 1.4μm |
| 焦点深度(±D.F) | 7.1μm | 2.1μm | 1.5μm |
| 透過率:1300nm | 80%以上 | 80%以上 | 80%以上 |
| 透過率:2000nm | 75%以上 | 75%以上 | 75%以上 |
| 重量 | 490g | 610g | 560g |
| Note: Resolution and Focal Depth calculated using the wavelength of λ = 1550nm. | Resolution = 0.61x1.55(λ)/NA, Focal Depth ±D(μm) = 1.55(λ)/[2(NA)2] |
近紫外対物 355nm
NUV Plan APO20X・50X
近紫外対物レンズ
明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外355nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ355nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。
近紫外対物レンズ
明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外355nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ355nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。
| 型式 | NUV Plan APO 20X | NUV Plan APO 50X |
|---|---|---|
| 倍率 | 20X | 50X |
| 作動距離 | 12mm | 10mm |
| 焦点距離(f) | 10mm | 4mm |
| N.A. | 0.5 | 0.5 |
| 分解能 | 0.6μm | 0.6μm |
| 焦点深度(±D.F) | 1.1μm | 1.1μm |
| 波長 | 345nm-1064nm | 345nm-1064nm |
| 最大入射パワー | 0.1J/cm2@532nm パルス幅10nsec 0.047J/cm2@355nm パルス幅10nsec | 0.1J/cm2@532nm パルス幅10nsec 0.028J/cm2@355nm パルス幅10nsec |
| ガラス補正 | -/1.0mm(LCD) | -/1.0mm(LCD) |
| 重量 | 435g | 510g |
紫外対物 266nm
DUV Plan 20X・50X
近紫外対物レンズ
明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外266nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ266nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。
近紫外対物レンズ
明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外266nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ266nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。
| 型式 | DUV Plan 20X | DUV Plan 50X |
|---|---|---|
| 倍率 | 20X | 50X |
| 作動距離 | 15mm | 12mm |
| 焦点距離(f) | 10mm | 4mm |
| N.A. | 0.36 | 0.4 |
| 分解能 | 0.93μm | 0.84μm |
| 焦点深度(±D.F) | 2.1μm | 1.7μm |
| 波長 | 266nm-532nm | 266nm-532nm |
| 最大入射パワー | - | - |
| 最大入射パワー | - | - |
| ガラス補正 | - | - |
| 重量 | 360g | 320g |
マイケルソン干渉対物レンズ
MIFシリーズ
マイケルソン式白色干渉対物レンズ
白色干渉計での使用を目的とした対物レンズです。
合焦位置でのサンプル像とともに内蔵するビームスプリッタと参照ミラーにより
サンプルの高低差に対応した干渉縞が得られます。
マイケルソン式白色干渉対物レンズ
白色干渉計での使用を目的とした対物レンズです。
合焦位置でのサンプル像とともに内蔵するビームスプリッタと参照ミラーにより
サンプルの高低差に対応した干渉縞が得られます。
| 型式 | MIF-2.5X-FD10.2 | MIF-5X-WD26 | MIF-5X-ULWD |
|---|---|---|---|
| 倍率 | 2.5X | 5X | 5X |
| 作動距離 | 31mm | 26mm | 40mm |
| 焦点距離(f) | 80mm | 40mm | 40mm |
| N.A. | 0.1 | 0.13 | 0.08 |
| 分解能 | 3.4μm | 2.6μm | 4.2μm |
| 焦点深度(±D.F) | 27.5μm | 16.3μm | 42.9μm |
| 波長 | 468-656nm | 468-656nm | 468-656nm |
| 参照ミラー面積度 | λ/20 | λ/20 | λ/20 |
| 同焦点距離 | 95mm | 95mm | 114mm |
| 参照ミラーの最大視野 | φ10.2mm | φ4.27mm | φ4.27mm |
