対物レンズ Objective Lens

広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズ

広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズ

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高画素化が進むカメラに対応した
超広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズです

結像鏡筒MS-200-TCD33と合わせてご使用ください
対物型式M.Plan APO1.5XHRM.Plan APO2.5XHRM.Plan APO5XHRM.Plan APO10XHR
倍率1.5×2.5×5×10×
作動距離25mm33mm34mm18mm
焦点距離133.38mm80mm40mm20mm
N.A.0.0480.080.160.3
分解能7.4μm4.2μm2.1μm1.2μm
焦点深度(±D.F)119.3μm42.9μm10.7μm3.0μm
重量390g180g385g545g
広視野(φ33㎜)対応M.PlanAPO対物レンズシリーズ
外観図PDF
外観図DXF
外観図3D
M.PlanAPO対物レンズシリーズ

M.PlanAPO対物レンズシリーズ

※生産終了→M.PlanAPO2.5X（2018年）
　後継機種はM.PlanAPO2.5XHRとなります。

※生産終了→M.PlanAPO20XSB（2021年3月）
　後継機種はM.PlanAPO20XSとなります。N.Aが0.35→0.42になりました。
型式M.Plan APO2.5XHRM.Plan APO5XSBSM.Plan APO10XSBSM.Plan APO20XSM.Plan APO50XSBS M.Plan APO100XSBS
倍率2.5X5X10X20X50X100X
作動距離33mm36.1mm38.9mm20mm18.3mm14.1mm
焦点距離(f)80.0mm40.0mm20.0mm10.0mm4.0mm2.0mm
N.A.0.080.160.230.420.400.52
分解能4.2μm2.1μm1.5μm0.8μm0.8μm0.6μm
焦点深度(±D.F)42.9μm10.7μm5.2μm1.5μm1.7μm1.0μm
重量180g238g215g279g321g340g
※分解能及び対物レンズ単体での焦点深度は、
基本波長（λ=0.55μｍ)をもとに算出した値になります。
分解能＝0.61×0.55/N.A
焦点深度±D(μm)＝λ/[2(N.A)2乗]
M.PlanAPO対物レンズシリーズ
M.PlanAPO対物レンズシリーズ
M.PlanAPO対物レンズシリーズ
カタログ2018Catalog_P32.pdf
外観図PDF
外観図DXF
外観図3D
紫外対物 266nm

紫外対物 266nm

DUV Plan 20X・50X
近紫外対物レンズ

明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外266nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ266nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。
型式DUV Plan 20XDUV Plan 50X
倍率20X50X
作動距離15mm12mm
焦点距離(f)10mm4mm
N.A.0.360.4
分解能0.93μm0.84μm
焦点深度(±D.F)2.1μm1.7μm
波長266nm-532nm266nm-532nm
最大入射パワー- -
最大入射パワー--
ガラス補正--
重量360g320g
紫外対物 266nm
カタログ2018Catalog_P34.pdf

近紫外対物 355nm

近紫外対物 355nm

NUV Plan APO20X・50X
近紫外対物レンズ

明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域と近紫外355nmで使用する波長において、ピントが合うように補正されている対物レンズです。
近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザ355nmを併用することで、
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。
型式NUV Plan APO 20XNUV Plan APO 50X
倍率20X50X
作動距離12mm10mm
焦点距離(f)10mm4mm
N.A.0.50.5
分解能0.6μm0.6μm
焦点深度(±D.F)1.1μm1.1μm
波長345nm-1064nm345nm-1064nm
最大入射パワー0.1J/cm2@532nm パルス幅10nsec
0.047J/cm2@355nm パルス幅10nsec		0.1J/cm2@532nm パルス幅10nsec
0.028J/cm2@355nm パルス幅10nsec
ガラス補正-/1.0mm(LCD)-/1.0mm(LCD)
重量435g510g
近紫外対物 355nm
カタログ2018Catalog_P34.pdf
外観図3D
近赤外対物 1100nm-1600nm

近赤外対物 1100nm-1600nm

PE IR Plan対物シリーズ
フォトエミッション用近赤外対物レンズ

近赤外域の分光透過率を高く設計した長作動距離、高解像対物レンズです。
シリコンを透過してウェハーの裏面観察をしたりフォトエミッション故障解析用レンズとして使用できます。
20X、50Xは弊社の顕微鏡PS-888Lに取付けてYAGレーザ（波長1064nm）と併用することで、
レーザーリペアなどにもご使用いただけます。
※LCDガラス補正・シリコン補正に対応いたします。ご相談ください。
型式PE IR Plan 1XPE IR Plan 2.5XPE IR Plan 10XPE IR Plan 20XPE IR Plan 50XPE IR Plan 100X
倍率1X2.5X10X20X50X100X
作動距離12mm28mm30.4mm12mm10mm9.5mm
焦点距離(f)200mm80mm20mm10mm4mm2mm
N.A.0.030.10.270.50.60.71
分解能22.4μm6.7μm2.5μm1.3μm1.1μm0.9μm
焦点深度(±D.F)611μm55μm7.5μm2.2μm1.5μm0.9μm
透過率70%以上800-1600nm450-1600nm550-1600nm800-1600nm900-1600nm900-1400nm
ガラス補正----/1.0mm(LCD)-/1.0mm(LCD)-
重量420g300g335g430g500g560g
近赤外対物 1100nm-1600nm
近赤外対物 1100nm-1600nm
カタログ2018Catalog_P34.pdf
外観図3D
近赤外対物 2000nm

近赤外対物 2000nm

PEIR2000HR 20X・50X
近赤外2000nm対応対物レンズ

2000nmで80％以上の透過率を維持した対物レンズです。
半導体デバイスの故障解析で電流リークによる極微弱な発光の検出に威力を発揮いたします。
高集積、多層配線化された半導体デバイスを、チップの裏面からシリコンを透過してくる赤外光で観察が可能です。
※シリコン補正対応いたします。ご相談ください。
型式PE IR 20X 2000 HRPE IR 50X 2000 HR
倍率20X50X
作動距離10mm10mm
焦点距離(f)10mm4mm
N.A.0.60.7
分解能1.6μm1.4μm
焦点深度(±D.F)2.1μm1.5μm
透過率:1300nm80%以上80%以上
透過率:2000nm80%以上80%以上
重量610g560g
近赤外対物 2000nm
近赤外対物 2000nm
カタログ2018Catalog_P35.pdf
外観図3D

マイケルソン干渉対物レンズ

マイケルソン干渉対物レンズ

MIFシリーズ
マイケルソン式白色干渉対物レンズ

白色干渉計での使用を目的とした対物レンズです。
合焦位置でのサンプル像とともに内蔵するビームスプリッタと参照ミラーにより
サンプルの高低差に対応した干渉縞が得られます。
型式MIF-2.5X-FD10.2MIF-5X-WD26MIF-5X-ULWD
倍率2.5X5X5X
作動距離31mm26mm40mm
焦点距離(f)80mm40mm40mm
N.A.0.10.130.08
分解能3.4μm2.6μm4.2μm
焦点深度(±D.F)27.5μm16.3μm42.9μm
波長468-656nm468-656nm468-656nm
参照ミラー面積度λ/20λ/20λ/20
同焦点距離95mm95mm114mm
参照ミラーの最大視野φ10.2mmφ4.27mmφ4.27mm
マイケルソン干渉対物レンズ
マイケルソン干渉対物レンズ
マイケルソン干渉対物レンズ
カタログ2018Catalog_P35.pdf
外観図3D
無限遠M.Plan f=180

無限遠M.Plan f=180

同軸鏡筒 無限遠 f＝180mm
長作動対物レンズM.Planシリーズ
無限遠M.Planシリーズ

無限遠f=180mm結像レンズ入りコンパク卜鏡筒です。
明視野用M.Plan対物レンズを取り付けてご使用いただけます。
型式M.Plan10XLWD11M.Plan20XLWD11M.Plan40XLWD11M.Plan10XLCD11M.Plan20XLCD11M.Plan40XLCD11
倍率10X20X40X10X20X40X
作動距離10mm10mm10mm10.8mm10.5mm10.3mm
焦点距離(f)18.0mm8.99mm4.49mm18.0mm8.99mm4.49mm
N.A.0.250.420.520.250.420.52
分解能1.3μm0.8μm0.6μm1.3μm0.8μm0.6μm
焦点深度(±D.F)4.4μm1.6μm1.0μm4.4μm1.6μm1.0μm
重量116g113g123g116g113g123g
付属品MS-180:F20-WフロストフィルターMS-180:F20-WフロストフィルターMS-180:F20-WフロストフィルターMS-180:F20-WフロストフィルターMS-180:F20-WフロストフィルターMS-180:F20-Wフロストフィルター
無限遠M.Plan f=180
無限遠M.Plan f=180
無限遠M.Plan f=180
カタログ2018Catalog_P38.pdf
外観図3D
有限遠 f=210

有限遠 f=210

同軸鏡筒 機械筒長式有限210mm／対物レンズ DM.シリーズ
有限遠DMシリーズ

機械筒長 210mmの有限遠対物レンズと鏡筒のシリーズです。
光学倍率、5倍・10倍・20倍・35倍・40倍・50倍・100倍と豊富なラインナップです。
型式DM.5XDM.10XDM.20XDM.35XDM.40XDM.50XDM.Plan100XDRY
倍率5X10X20X35X40X50X100X
作動距離18mm7.5mm2.2mm6.9mm0.6mm0.45mm0.44mm
焦点距離(f)37.9mm22.17mm11.72mm6.06mm5.78mm4.66mm2.17mm
N.A.0.100.250.40.450.650.680.9
分解能3.4μm1.3μm0.8μm0.7μm0.5μm0.5μm0.4μm
焦点深度(±D.F)27.5μm4.4μm1.7μm1.35μm0.7μm0.6μm0.3μm
重量52g85g88g85g95g96g99g
付属品MS-210:F20-WフロストフィルターMS-210:F20-WフロストフィルターMS-210:F20-WフロストフィルターMS-210:F20-WフロストフィルターMS-210:F20-WフロストフィルターMS-210:F20-WフロストフィルターMS-210:F20-Wフロストフィルター
有限遠 f=210
有限遠 f=210
有限遠 f=210
カタログ2018Catalog_P37.pdf
外観図3D

有限遠 f=240

有限遠 f=240

同軸鏡筒 機械筒長式有限240mm／長作動対物レンズ
有限遠LMシリーズ

機械筒長240mmの有限対物レンズと鏡筒のシリーズです。
DMシリーズに比べWDが長いのが特長です。
型式PLM-3LM-5LM-10LM-20LM-40LM-Plan100XDRY
倍率3X5X10X20X40X100X
作動距離12.5mm21mm12.3mm12.2mm6.8mm3.4mm
焦点距離(f)78.07mm53.88mm22.5mm11.45mm6.06mm2.33mm
N.A.0.070.100.220.300.450.80
分解能4.8μm3.4μm1.5μm1.1μm0.7μm0.4μm
焦点深度(±D.F)56.2μm27.5μm5.6μm3.0μm1.4μm0.4μm
重量88g43g73g76g82g95g
付属品MS-240:F20-WフロストフィルターMS-240:F20-WフロストフィルターMS-240:F20-WフロストフィルターMS-240:F20-WフロストフィルターMS-240:F20-WフロストフィルターMS-240:F20-Wフロストフィルター
有限遠 f=240
有限遠 f=240
有限遠 f=240
カタログ2018Catalog_P37.pdf
外観図3D
  
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