顕微鏡 Microscope

半導体内部観察顕微鏡 SWIR-5200

半導体内部観察顕微鏡 SWIR-5200

1.3メガSWIRカメラ搭載
半導体内部観察顕微鏡
Model.SWIR-5200

赤外光の透過・反射特性を利用して、シリコンウェハやチップ、MEMS、CSPなど
半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です
チップ内部のメタル配線、ダイボンディングなどの観察に適しています

・1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製IMX990を搭載したSWIRカメラを搭載し、近赤外画像でありながら、
 これまでにない高解像画像の取得を可能にしました
・SWIRカメラで感度の高い近赤外1100-1700nm域専用に独自設計した結像鏡筒と
 PEIR対物レンズシリーズにより、厚ウェハ、高濃度ウェハでも高コントラストな画像が取得できます
・高パワー近赤外ハロゲン光源をセットアップ、対物レンズ100x使用時も明るい画像が得られます
・8インチウェハー搭載ステージを備え、除振台、ウェハーローダーなどのオプションもご提案可能です
カタログSWIR-5200
システム構成図
半導体内部観察顕微鏡 SWIR-5200
PEIR対物レンズ
半導体内部観察顕微鏡 SWIR-5200

双眼実体顕微鏡

ズーム式双眼実体顕微鏡SKZシリーズ

接眼レンズ:SWF10X
対物レンズ:0.75X-4.5X(ズーム比6:1)
総合倍率:7.5X-45X
視野数:29.3mm-4.8mm
作動距離:90mm
ズームヘッド:45°傾斜・360°回転・視度調節・眼幅調節50-75mm
ピント調整:微動=ラックピニオン式50mm作動
照明装置:リング蛍光灯照明装置
※白色LEDリング照明も用意しております。
型式SKZ-2 (2+60+13+20+40-C) SKZ-4 (2+60+13+25-B+40-C)
組み合わせ接眼レンズ+ズームヘッド+フォーカスマウント+スタンド+照明装置接眼レンズ+ズームヘッド+フォーカスマウント+スタンド+照明装置
ピント調整:粗動支柱クランプ式(約60mm移動)支柱クランプ式(約300mm移動)
スタンドポール型19φ平ベース(白黒アクリプレート・クレンメル2個付)ユニバーサル式 /上下移動300mm/水平移動250mm/ 前後微動50mm /回転360°
メカニカルステージ--
交換ランプ リング蛍光灯80-BWW80-BWW
重量4.0kg16kg

双眼実体顕微鏡

ズーム式双眼実体顕微鏡SKZシリーズ

接眼レンズ:SWF10X
対物レンズ:0.75X-4.5X(ズーム比6:1)
総合倍率:7.5X-45X
視野数:29.3mm-4.8mm
作動距離:90mm
ズームヘッド:45°傾斜・360°回転・視度調節・眼幅調節50-75mm
ピント調整:微動=ラックピニオン式50mm作動
型式SKZ-1 (2+60+13+20)SKZ-5 (2+60+19-A)SKZ-6 (2+60+13)
組み合わせ接眼レンズ+ズームヘッド+フォーカスマウント+スタンド接眼レンズ+ズームヘッド+透過・斜光照明付スタンド接眼レンズ+ズームヘッド+フォーカスマウント
ピント調整:粗動支柱クランプ式(約60mm移動)支柱クランプ式(約60mm移動)-
スタンドポール型19φ平ベース(白黒アクリプレート・クレンメル2個付)ポール型19φ平ベース(白黒アクリプレート・ガラス・クレンメル2個付)-
斜光照明-6V10W電球/照射角度調節可能/6V20Aトランスベースに内蔵/集光レンズ付-
透過照明-100V15W電球/OFF-斜光-透過-斜光・透過同時切換スイッチ付-
交換ランプ-斜光用:6-10-T
透過用:100-15-T-W(白)
-
重量3.0kg4.0kg2.1kg

測定顕微鏡

小型で操作性に優れ、省スペースでの作業が可能な測定顕微鏡です。
型式SMJ-5SMJ-7SMJ-8
品名金型工具顕微鏡測定顕微鏡セッテイングスコープ
総合倍率10X/20X10X20X
ヘッド双眼45°傾斜単眼45°傾斜単眼45°傾斜
接眼レンズSWF10X+視度調節(クロス目盛入り)SWF10X(視度調節/クロス目盛入り)SWF10X(視度調節/クロス目盛入り)
対物レンズ1X/2X1X2X
スタンドユニバーサル式マグネット付ポール型19φ平ベース、白黒アクリルプレート、クレンメル2個付ユニバーサル式マグネット付
重量9.5kg2.5kg8.5kg
用途金型加工・研磨作業・旋盤・フライス・プレス等の機械装置に取付、測定作業・位置合せ作業が可能組立作業等の位置出し(目合せ)工程に使用作業現場の機械等に取付て刃物セッテイング・測定・加工物の観察等に使用
交換ランプ リング蛍光灯80-BWW--
オプション-対物レンズ:2X 3X 4X 5X 6X対物レンズ:1X 3X 4X 5X 6X
スルーホールスコープ

スルーホールスコープ

PC-2

基板内壁を検鏡角度を自由に変えることによって小孔の内面を検査する事が出来ます。
表面観察をする場合はオプション照明をご利用下さい。
ICの載った基板等のハンダ付状態がよく観察できます。
■仕様
総合倍率20X.40X
接眼レンズSWF10X
対物レンズ2X・4X 切換式
鏡筒双眼.立体正立像.目幅調節.視度調節
実視野11mm 5.5mm
作動距離53mm
焦準装置ラック・ピニオン式 ストローク50mm
照明装置斜光照明.トランス内蔵.光量調節付.マットグラス付
ステージ(台)250mm(D)×350mm(W)
高さ350mm~450mm
重量約10Kg
検鏡角度90°(垂直)より60°
スルーホールスコープ
各部の名称
①接眼レンズ SWF10X
②フレームセットノブ
③ピント合わせノブ
④顕微鏡ヘッドセットノブ
⑤対物レンズ 2X.4X 90°回転式変倍
⑥検鏡角度変更調節
⑦照明スイッチ

オプション
●接眼レンズ SWF5X.WF15X.WF20
●リング蛍光灯 80-B(水平型).80-8S(照明取付金具)
●リングファイバー照明装置
 
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