顕微鏡 Microscope
半導体内部観察顕微鏡 SWIR-5200
1.3メガSWIRカメラ搭載
半導体内部観察顕微鏡
Model.SWIR-5200
赤外光の透過・反射特性を利用して、シリコンウェハやチップ、MEMS、CSPなど
半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です
チップ内部のメタル配線、ダイボンディングなどの観察に適しています
・1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製IMX990を搭載したSWIRカメラを搭載し、近赤外画像でありながら、
これまでにない高解像画像の取得を可能にしました
・SWIRカメラで感度の高い近赤外1100-1700nm域専用に独自設計した結像鏡筒と
PEIR対物レンズシリーズにより、厚ウェハ、高濃度ウェハでも高コントラストな画像が取得できます
・高パワー近赤外ハロゲン光源をセットアップ、対物レンズ100x使用時も明るい画像が得られます
・8インチウェハー搭載ステージを備え、除振台、ウェハーローダーなどのオプションもご提案可能です
半導体内部観察顕微鏡
Model.SWIR-5200
赤外光の透過・反射特性を利用して、シリコンウェハやチップ、MEMS、CSPなど
半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です
チップ内部のメタル配線、ダイボンディングなどの観察に適しています
・1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製IMX990を搭載したSWIRカメラを搭載し、近赤外画像でありながら、
これまでにない高解像画像の取得を可能にしました
・SWIRカメラで感度の高い近赤外1100-1700nm域専用に独自設計した結像鏡筒と
PEIR対物レンズシリーズにより、厚ウェハ、高濃度ウェハでも高コントラストな画像が取得できます
・高パワー近赤外ハロゲン光源をセットアップ、対物レンズ100x使用時も明るい画像が得られます
・8インチウェハー搭載ステージを備え、除振台、ウェハーローダーなどのオプションもご提案可能です
双眼実体顕微鏡
ズーム式双眼実体顕微鏡ＳＫＺシリーズ
接眼レンズ：SWF10X
対物レンズ：0.75X-4.5X(ズーム比6:1)
総合倍率：7.5X-45X
視野数：29.3mm-4.8mm
作動距離：90mm
ズームヘッド:45°傾斜・360°回転・視度調節・眼幅調節50-75mm
ピント調整：微動=ラックピニオン式50mm作動
照明装置：リング蛍光灯照明装置
※白色LEDリング照明も用意しております。
接眼レンズ：SWF10X
対物レンズ：0.75X-4.5X(ズーム比6:1)
総合倍率：7.5X-45X
視野数：29.3mm-4.8mm
作動距離：90mm
ズームヘッド:45°傾斜・360°回転・視度調節・眼幅調節50-75mm
ピント調整：微動=ラックピニオン式50mm作動
照明装置：リング蛍光灯照明装置
※白色LEDリング照明も用意しております。
| 型式 | SKZ-2 (2+60+13+20+40-C) | SKZ-4 (2+60+13+25-B+40-C) |
|---|---|---|
| 組み合わせ | 接眼レンズ+ズームヘッド+フォーカスマウント+スタンド+照明装置 | 接眼レンズ+ズームヘッド+フォーカスマウント+スタンド+照明装置 |
| ピント調整：粗動 | 支柱クランプ式(約60mm移動) | 支柱クランプ式(約300mm移動) |
| スタンド | ポール型19φ平ベース(白黒アクリプレート･クレンメル2個付) | ユニバーサル式 /上下移動300mm/水平移動250mm/ 前後微動50mm /回転360° |
| メカニカルステージ | - | - |
| 交換ランプ リング蛍光灯 | 80-BWW | 80-BWW |
| 重量 | 4.0kg | 16kg |
双眼実体顕微鏡
ズーム式双眼実体顕微鏡ＳＫＺシリーズ
接眼レンズ：SWF10X
対物レンズ：0.75X-4.5X(ズーム比6:1)
総合倍率：7.5X-45X
視野数：29.3mm-4.8mm
作動距離：90mm
ズームヘッド:45°傾斜・360°回転・視度調節・眼幅調節50-75mm
ピント調整：微動=ラックピニオン式50mm作動
接眼レンズ：SWF10X
対物レンズ：0.75X-4.5X(ズーム比6:1)
総合倍率：7.5X-45X
視野数：29.3mm-4.8mm
作動距離：90mm
ズームヘッド:45°傾斜・360°回転・視度調節・眼幅調節50-75mm
ピント調整：微動=ラックピニオン式50mm作動
| 型式 | SKZ-1 (2+60+13+20) | SKZ-5 (2+60+19-A) | SKZ-6 (2+60+13) |
|---|---|---|---|
| 組み合わせ | 接眼レンズ+ズームヘッド+フォーカスマウント+スタンド | 接眼レンズ+ズームヘッド+透過･斜光照明付スタンド | 接眼レンズ+ズームヘッド+フォーカスマウント |
| ピント調整：粗動 | 支柱クランプ式(約60mm移動) | 支柱クランプ式(約60mm移動) | - |
| スタンド | ポール型19φ平ベース(白黒アクリプレート･クレンメル2個付) | ポール型19φ平ベース(白黒アクリプレート･ガラス・クレンメル2個付) | - |
| 斜光照明 | - | 6V10W電球/照射角度調節可能/6V20Aトランスベースに内蔵/集光レンズ付 | - |
| 透過照明 | - | 100V15W電球/OFF-斜光-透過-斜光･透過同時切換スイッチ付 | - |
| 交換ランプ | - | 斜光用：6-10-T 透過用：100-15-T-W(白) | - |
| 重量 | 3.0kg | 4.0kg | 2.1kg |
測定顕微鏡
小型で操作性に優れ、省スペースでの作業が可能な測定顕微鏡です。
| 型式 | SMJ-5 | SMJ-7 | SMJ-8 |
|---|---|---|---|
| 品名 | 金型工具顕微鏡 | 測定顕微鏡 | セッテイングスコープ |
| 総合倍率 | 10X/20X | 10X | 20X |
| ヘッド | 双眼45°傾斜 | 単眼45°傾斜 | 単眼45°傾斜 |
| 接眼レンズ | SWF10X+視度調節(クロス目盛入り) | SWF10X(視度調節/クロス目盛入り) | SWF10X(視度調節/クロス目盛入り) |
| 対物レンズ | 1X/2X | 1X | 2X |
| スタンド | ユニバーサル式マグネット付 | ポール型19φ平ベース、白黒アクリルプレート、クレンメル2個付 | ユニバーサル式マグネット付 |
| 重量 | 9.5kg | 2.5kg | 8.5kg |
| 用途 | 金型加工･研磨作業･旋盤･フライス･プレス等の機械装置に取付、測定作業･位置合せ作業が可能 | 組立作業等の位置出し(目合せ)工程に使用 | 作業現場の機械等に取付て刃物セッテイング･測定･加工物の観察等に使用 |
| 交換ランプ リング蛍光灯 | 80-BWW | - | - |
| オプション | - | 対物レンズ：2X 3X 4X 5X 6X | 対物レンズ：1X 3X 4X 5X 6X |
スルーホールスコープ
PC-2
基板内壁を検鏡角度を自由に変えることによって小孔の内面を検査する事が出来ます。
表面観察をする場合はオプション照明をご利用下さい。
ICの載った基板等のハンダ付状態がよく観察できます。
基板内壁を検鏡角度を自由に変えることによって小孔の内面を検査する事が出来ます。
表面観察をする場合はオプション照明をご利用下さい。
ICの載った基板等のハンダ付状態がよく観察できます。
| ■仕様 | |
|---|---|
| 総合倍率 | 20X.40X |
| 接眼レンズ | SWF10X |
| 対物レンズ | 2X･4X 切換式 |
| 鏡筒 | 双眼.立体正立像.目幅調節.視度調節 |
| 実視野 | 11mm 5.5mm |
| 作動距離 | 53mm |
| 焦準装置 | ラック・ピニオン式 ストローク50mm |
| 照明装置 | 斜光照明.トランス内蔵.光量調節付.マットグラス付 |
| ステージ(台) | 250mm(D)×350mm(W) |
| 高さ | 350mm～450mm |
| 重量 | 約10Kg |
| 検鏡角度 | 90°(垂直)より60° |
各部の名称
①接眼レンズ SWF10X
②フレームセットノブ
③ピント合わせノブ
④顕微鏡ヘッドセットノブ
⑤対物レンズ 2X.4X 90°回転式変倍
⑥検鏡角度変更調節
⑦照明スイッチ
オプション
●接眼レンズ SWF5X.WF15X.WF20
●リング蛍光灯 80-B(水平型).80-8S(照明取付金具)
●リングファイバー照明装置
①接眼レンズ SWF10X
②フレームセットノブ
③ピント合わせノブ
④顕微鏡ヘッドセットノブ
⑤対物レンズ 2X.4X 90°回転式変倍
⑥検鏡角度変更調節
⑦照明スイッチ
オプション
●接眼レンズ SWF5X.WF15X.WF20
●リング蛍光灯 80-B(水平型).80-8S(照明取付金具)
●リングファイバー照明装置
