その他検査装置

フィルム検査装置

フィルム(樹脂・金属)検査装置 Film (Rasin・Metal) Automated Optical Inspection
概要
検査専用光学機器を搭載した、フィルム(樹脂・金属)検査装置です。
用途
樹脂フィルム・金属フィルムをRoll to Rollで検査します。
タッチパネル用メタルメッシュやOLED用のFine Metal Mask( FMM)検査に最適。
仕様
搭載最大幅:300mm
※パターンの材質・要求検出サイズに合わせて光学系を選定いたします。
対象欠陥
メタルメッシュ: 断線、パーティクル
FMM : パターン形状、パーティクル
繰り返し詳細パターン検査用オリジナルソフトウェア搭載
※学習機能により誤検出・過検出を防止し、効率化を図ります。

【オプション】
パターン・パーティクルリペア用レーザーヘッド
フィルム検査装置

FPC検査装置

FPC(フレキシブル基板)検査装置 FPC film Automated Optical Inspection
概要
検査専用光学機器を搭載した、FPC用の検査装置。
用途
搭載最大幅:940mm
清和光学製高精細ラインスキャンカメラ用光学系搭載
※パターンの材質・要求検出サイズに合わせて光学系を選定いたします。
検出項目
印刷・配線・パターン不良
      
対象欠陥
線幅細り、断線、太り、突起、ブリッジ、パターン上の島・抜けなど
FPC検査装置

ガラス基板検査装置

Glass Panel Automated Optical Inspection
概要
検査専用光学機器を搭載した、ガラス基板用の検査装置。
用途
1. 素ガラス
2. カバーガラス
3. ガラス基板(タッチパネル用)
4. その他(ガラス貼り合わせ基板など)
仕様
検出項目:キズ(スクラッチ、打痕)
パーティクル
エッジ欠け
印刷・配線・パターン不良など

※BMインク印刷、各種金属配線、ITOパターン等に対応。
※パーティクルに関しては、検査後リペアを行うことも可能。
(イオナイザー・クリーナ搭載可能)

装置構成は、サンプル及び設置環境に応じてカスタマイズ。
最大対応基板サイズ:G10.5
※インライン方式(ロボット搬送)

<参考>パーティクル検査モード検出画面
ガラス基板検査装置

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