その他検査装置

フィルム検査装置

フィルム(樹脂・金属)検査装置　Film (Rasin・Metal) Automated Optical Inspection
概要
検査専用光学機器を搭載した、フィルム（樹脂・金属）検査装置です。
用途
樹脂フィルム・金属フィルムをRoll to Rollで検査します。
タッチパネル用メタルメッシュやOLED用のFine Metal Mask( FMM)検査に最適。
仕様
搭載最大幅：300mm
※パターンの材質・要求検出サイズに合わせて光学系を選定いたします。
対象欠陥
メタルメッシュ:　断線、パーティクル
FMM :　パターン形状、パーティクル
繰り返し詳細パターン検査用オリジナルソフトウェア搭載
※学習機能により誤検出・過検出を防止し、効率化を図ります。

【オプション】
パターン・パーティクルリペア用レーザーヘッド
フィルム検査装置

FPC検査装置

FPC(フレキシブル基板)検査装置　FPC film Automated Optical Inspection
概要
検査専用光学機器を搭載した、FPC用の検査装置。
用途
搭載最大幅：940mm
清和光学製高精細ラインスキャンカメラ用光学系搭載
※パターンの材質・要求検出サイズに合わせて光学系を選定いたします。
検出項目
印刷・配線・パターン不良
　　　　　　
対象欠陥
線幅細り、断線、太り、突起、ブリッジ、パターン上の島・抜けなど
FPC検査装置

ガラス基板検査装置

Glass Panel Automated Optical Inspection
概要
検査専用光学機器を搭載した、ガラス基板用の検査装置。
用途
1. 素ガラス
2. カバーガラス
3. ガラス基板（タッチパネル用）
4. その他（ガラス貼り合わせ基板など）
仕様
検出項目：キズ（スクラッチ、打痕）
パーティクル
エッジ欠け
印刷・配線・パターン不良など

※BMインク印刷、各種金属配線、ITOパターン等に対応。
※パーティクルに関しては、検査後リペアを行うことも可能。
（イオナイザー・クリーナ搭載可能）

装置構成は、サンプル及び設置環境に応じてカスタマイズ。
最大対応基板サイズ：G10.5
※インライン方式（ロボット搬送）

＜参考＞パーティクル検査モード検出画面
ガラス基板検査装置

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