フィルム検査装置

フィルム(樹脂・金属)検査装置　Film (Rasin・Metal) Automated Optical Inspection

概要

検査専用光学機器を搭載した、フィルム（樹脂・金属）検査装置です。

用途

樹脂フィルム・金属フィルムをRoll to Rollで検査します。
タッチパネル用メタルメッシュやOLED用のFine Metal Mask( FMM)検査に最適。

仕様

搭載最大幅：300mm
※パターンの材質・要求検出サイズに合わせて光学系を選定いたします。
対象欠陥
メタルメッシュ:　断線、パーティクル
FMM :　パターン形状、パーティクル
繰り返し詳細パターン検査用オリジナルソフトウェア搭載
※学習機能により誤検出・過検出を防止し、効率化を図ります。

【オプション】
パターン・パーティクルリペア用レーザーヘッド

FPC検査装置

FPC(フレキシブル基板)検査装置　FPC film Automated Optical Inspection

概要

検査専用光学機器を搭載した、FPC用の検査装置。

用途

搭載最大幅：940mm
清和光学製高精細ラインスキャンカメラ用光学系搭載
※パターンの材質・要求検出サイズに合わせて光学系を選定いたします。
検出項目
印刷・配線・パターン不良
　　　　　　
対象欠陥
線幅細り、断線、太り、突起、ブリッジ、パターン上の島・抜けなど

ガラス基板検査装置

Glass Panel Automated Optical Inspection

概要

検査専用光学機器を搭載した、ガラス基板用の検査装置。

用途

1. 素ガラス
2. カバーガラス
3. ガラス基板（タッチパネル用）
4. その他（ガラス貼り合わせ基板など）

仕様

検出項目：キズ（スクラッチ、打痕）
パーティクル
エッジ欠け
印刷・配線・パターン不良など

※BMインク印刷、各種金属配線、ITOパターン等に対応。
※パーティクルに関しては、検査後リペアを行うことも可能。
（イオナイザー・クリーナ搭載可能）

装置構成は、サンプル及び設置環境に応じてカスタマイズ。
最大対応基板サイズ：G10.5
※インライン方式（ロボット搬送）

＜参考＞パーティクル検査モード検出画面

刃物先端自動検査装置

刃物先端自動検査装置

概要

1)本装置はステージ上に手置きされたワーク(刃物)の外観検査を自動で行います。
2)検査時は同軸落射LED照明および特殊拡散LED照明を用い、刃物上の欠陥を検出します。

用途

リチウムイオン電池の薄膜フィルムのカット用刃物欠陥検査装置です。
バリ、チッピング、クラック、剥がれ等を検出します。

仕様

【検査光学系】
①16Kラインセンサー
②最大素子長64mm対応ラインセンサー用テレセントリックレンズ(SVLシリーズ)
③画素分解能1.75μｍ
④Scanスピード　20mm/ sec

【欠陥検出内容】
①傷・素・ピンホールなどの欠陥検出（画像処理）
②検出結果表示　　：検出された欠陥の表示
③結果画面保存　　：各欠陥画像の保存
④レシピ管理・編集：刃物種別毎の各設定値の管理
⑤軸・調光制御 　 ：各軸制御および同軸／拡散照明の調光制御
⑥アラーム表示　　：各種アラームの表示


デモテストも可能です。お気軽にお問い合わせください。

ガラス端面検査装置

ガラス端面検査装置

概要

ガラススクライブ、切断、面取り後、及び蒸着装置納入前のガラス端面のクラックや熱工程前（蒸着装置など）のチャンバー内での割れ防止用のインライン検査装置です。

仕様

[光学系]
16Kラインセンサー+I/Cφ64mm対応テレセントリックレンズ（SVLシリーズ）
視野130mm, 分解能8μｍ