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製品情報:マスクアライナーが新しくなりました。
2020/03/03
マスクアライナーを他社に負けない価格・スループットで高性能にリニューアルしました。
[概要]
高精細露光に最適化た独自UV光学系と新型ウエハ平行出しできるメカニズムを採用
バキュームコンタクト,ソフトコンタクト,プロキシミティー迄対応した全自動露光装置
特注対応可能
ウエハー露光装置装置(マスクアライナー)
[概要]
高精細露光に最適化た独自UV光学系と新型ウエハ平行出しできるメカニズムを採用
バキュームコンタクト,ソフトコンタクト,プロキシミティー迄対応した全自動露光装置
特注対応可能