マスクアライナーを他社に負けない価格・スループットで高性能にリニューアルしました。

ウエハー露光装置装置（マスクアライナー）

[概要]
高精細露光に最適化た独自UV光学系と新型ウエハ平行出しできるメカニズムを採用
バキュームコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシミティー迄対応した全自動露光装置
特注対応可能