展示会名：SEMICON Japan 2020 Virtual
開催日時：2019年12月11日～18日　

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　http://www.semiconjapan.org/jp
　

～出展予定～

【産業用装置】
　①LED-UV ランプハウスマスクアライナー
　②ウエハーズレ検査
　③ウエハーレビュー
　　オプション：(a)3D測定（AFM/白色干渉）
　　　　　　　　(b)ショートリペア（Laser）
　　　　　　　　(c)表裏ズレ/張り合わせズレ（近赤外）
　　　　　　　　(d)膜厚測定（膜厚計）
　　　　　　　　(e)線幅測定（ソフト）
　④µ-LED検査＆リペアー
　⑤レーザーダイレクトリフロー

【画像光学】
　①1.2インチ25Mカメラ対応光学系
　（低倍テレセントリック光学系/高倍光学系）
　②近赤外顕微鏡システム（近赤外特化光学系/高輝度光源/SWIRカメラ）
　③5穴傾斜型電動レボルバー（高精度・長寿命・低発塵）
　④検温サーモシステム
　⑤その他、カスタマイズ光学系など

【レーザー】
　①樹脂溶着
　②レーザーボンダー
　③UVレーザーマーカー
　④その他、各種レーザーによる加工実験など


【照明】
　①紫外域高出力照明（殺菌/硬化/検査他）
　②LEDストロボ照明
　③フルカラー疑似同軸照明
　④その他、各種カスタマイズLED